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真空脱羟炉

应用于石英玻璃灯具行业,适合对还原法制作的灯管进行脱羟。

关键词:半导体 光伏 工业炉

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产品描述

真空脱羟炉用途

应用于石英玻璃灯具行业,适合对还原法制作的灯管进行脱羟。

真空脱羟炉特点

炉内胆合理的选材,热区保温层可选择全金属或石墨材料,保证脱羟工艺的要求
可根据用户要求确定合适的真空度,确保石英管羟基含量小于1ppm
真空系统配备了低温氟里昂冷阱,温度可达-20℃,有效防止返油,保证真空室的洁净
独特的外循环快冷系统,保证设备运行的高效率
整个工艺过程控制由可编程序控制器(PLC)完成,全部动作均采用联锁保护,可选择手动或自动两种工作方式,
并配有值得信赖的报警及保护措施
根据用户不同需求提供各种规格的设备

主要性能指标

可选择外形形式:立式、卧式、钟罩式
最高温度:1200℃
极限真空度:可根据用户要求确定,可达到5x10-5Pa
温度均匀性:±5℃
压升率:≤0.067Pa/h
电气控制:手动/自动或全手动
工作区域:根据用户要求定制
内外循环快冷系统及触摸屏:由用户选定

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