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主要产品有: ALD，PECVD，LPCVD，常压、低压扩散炉，氧化炉，退火炉，石墨烯、碳纳米管合成炉，立式真空炉，氢气炉，真空钎焊、热处理炉等真空热工设备。
低压化学气相沉积设备是在低压和特定温度条件下，通过气体混合发生化学反应，在硅片表面沉积固体膜，是半导体集成电路制作的重要设备之一，主要适用于氮化硅薄膜淀积，二氧化硅薄膜淀积，多晶硅薄膜淀积，非晶硅薄膜淀积等工艺。
松煜科技
智能装备制造商
无锡松煜科技股份有限公司，成立于2017年12月20日，是一家专注高端智能装备研发、生产、销售的工业设备制造商，相关技术与产品可应用于光伏、半导体、光学、碳纳米管、金刚石、工业炉等领域。
公司拥有高新技术企业、科技型中小企业、民营科技企业、瞪羚企业、专精特新小巨人企业、创新创业大赛优秀企业等资质，获得太湖杯创业大赛二等奖、创业江苏大赛三等奖，具有ISO9001、ISO14001管理体系认证。
公司自成立以来，以“创新”、“领先”、“效率”的理念，稳健深耕智能装备领域，在行业内积累了良好口碑。
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