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TOPCon硼扩装备解决方案

2022-12-21


在国家2030碳达峰、2060碳中和大发展的时代背景下,光伏产业可以说是最主要的能源解决方案之一。目前光伏行业主要占比的产品是单晶PERC产品,其LCOE度电已经接近平价上网,如果实现平价上网及更低的LCOE,大片化和高功率是两个主要手段;目前在PERC平台基础上,进一步提升效率,有两个技术方案:TOPCon电池和异质结HJT电池;结合产业技术发展、及规模效应实现成本降低的控制,异质结HJT电池预计还需要一定时间周期的打磨,TOPCon电池因为与PERC电池80%以上的设备共用特征,可以预见在很短的时间内将出现爆发式增长,同时也是实现24+%以上效率的不二选择。

无锡松煜科技在TOPCon电池生产装备方面,积累多年经验,可提供TOPCon使用设备有:硼磷共扩炉、磷/退火共扩炉、LPCVD、PECVD(多晶硅三合一)、ALD管式原子层沉积氧化铝、PECVD(SiNx、SiON)等。

 

 松煜低压管式高温硼扩散系统

 

目前电池生产端使用无锡松煜科技生产的硼扩炉表现优秀。其生产182&210尺寸硅片,单管产能可达到2200片/管&2000片/管(市场其他硼扩设备单管产能一般是1600片/管&1200片/管)。无锡松煜科技是通过石英舟的独特设计,实现其如此大的产能;新石英舟设计采用的“竖插”方式,相较其它插片方式也有着非常明显的均匀性优势。无锡科技松煜硼扩炉在电池生产端,方阻均匀性表现出色,片内、片间、批间可分别做到3%、4%、4%,相较其他硼扩厂家的方阻均匀性(片内7%、片间7%、批间10%)更具优势。

 

单管实现210尺寸达到2000片的产能

 

 

在硼面SE技术没有普及的情况下,方阻均匀性决定了:高方阻的空间、效率集中性、EL亮度均匀性。使用无锡松煜科技的硼扩炉,目前即可实现TOPCon量产效率24+%的效果。下图是电池生产端效率对比(松煜对比BL高0.08%左右):

 

 

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在近1年的研发、Demo、批量测试、正式订单的过程中,无锡松煜科技花费了大量的精力,能得到这样的一个行业认可,是对其整体付出的巨大回报。另外,为了能够使新产品保持强劲的核心竞争力,无锡松煜科技针对于整个产品硬件设计(主设备、备品备件、石英件等)、工艺结构设计等都申请了专利保护。

无锡松煜科技是一家集开发、生产、销售为一体的高速发展的光伏设备及半导体工艺设备专业的设备制造商。无锡松煜科技公司技术力量雄厚,具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。

公司主要产品有:

太阳能电池片专用工艺设备

半导体技术专用工艺设备

电子元器件专用工艺设备

集成电路工艺设备

LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备等。

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