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退火炉

◆可配工艺管数量:1~5管/台 ◆工作温度范围:200~1000℃ ◆恒温区长度及精度:300~1200mm800~1000℃±0.5℃ ◆单点温度稳定性:800~1000℃±0.5℃/24h ◆最大可控升温速度:15℃/min ◆最大降温速度:15℃/min

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第四代软着陆低压扩散系统

低压软着陆扩散系统主要应用于半导体器件POCls和BBrs扩散工序,工艺系统采用低压扩散的方式。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能,保证整个工业过程完全不受外表环境干扰,系统整机清洁,每管配备独立的尾气回收系统,降低了石英制品清洗的频次。

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