工业炉-无锡松煜科技有限公司

产品内容

扩散炉应用于分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对最片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2~8英寸工艺尺寸。

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原子层淀积系统可生长品质优异的薄膜，设备先进，稳定可靠。应用实例:高K栅氧化层，存储容性电介质，铜互连中高深宽比扩散阻挡层，OLED无针孔钝化层，MEMS的高均匀镀膜，纳米多孔结构镀膜，特种光纤掺杂，太阳能电池，平板显示器，光学薄膜，其它各类特殊结构纳米薄膜。

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