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工业炉

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微控扩散炉

扩散炉应用于分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对最片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2~8英寸工艺尺寸。

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ALD原子层沉积设备

原子层淀积系统可生长品质优异的薄膜,设备先进,稳定可靠。应用实例:高K栅氧化层,存储容性电介质,铜互连中高深宽比扩散阻挡层,OLED无针孔钝化层,MEMS的高均匀镀膜,纳米多孔结构镀膜,特种光纤掺杂,太阳能电池,平板显示器,光学薄膜,其它各类特殊结构纳米薄膜。

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