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石墨烯、纳米材料CVD设备
该设备主要用于石墨稀、纳米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
关键词：半导体 光伏 工业炉
所属分类：
产品描述
该设备主要用于石墨稀、纳米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
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