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石墨烯、纳米材料CVD设备

该设备主要用于石墨稀、纳米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

关键词:半导体 光伏 工业炉

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产品描述

该设备主要用于石墨稀、纳米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

 

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