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退火炉
◆可配工艺管数量:1~5管/台 ◆工作温度范围:200~1000℃ ◆恒温区长度及精度:300~1200mm800~1000℃±0.5℃ ◆单点温度稳定性:800~1000℃±0.5℃/24h ◆最大可控升温速度:15℃/min ◆最大降温速度:15℃/min
关键词：半导体 光伏 工业炉
所属分类：
产品描述
主要技术参数
◆可配工艺管数量:1~5管/台
◆工作温度范围:200~1000℃
◆恒温区长度及精度:300~1200mm800~1000℃±0.5℃
◆单点温度稳定性:800~1000℃±0.5℃/24h
◆最大可控升温速度:15℃/min
◆最大降温速度:15℃/min
该系统主要功能如下
◆全中文操作界面,可编辑参数,操作简便
◆可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
◆工艺曲线的自动运行控制功能
◆自动运动中可暂停/继续运行功能
◆工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
◆智能升降温斜率控制功能
◆PID参数自整定功能
◆可存储多组PID参数供系统运行调用功能
◆系统故障的检测与报警功能
◆系统误差修正（单点或多点动态修正功能)
◆智能悬臂推拉舟控制功
◆工艺气体的程序控制功能（阀门/质量流量控制器）
◆停电后断点继续运行功能等等
◆该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。
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