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第四代软着陆低压扩散系统

低压软着陆扩散系统主要应用于半导体器件POCls和BBrs扩散工序,工艺系统采用低压扩散的方式。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能,保证整个工业过程完全不受外表环境干扰,系统整机清洁,每管配备独立的尾气回收系统,降低了石英制品清洗的频次。

关键词:半导体 光伏 工业炉

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产品描述

低压软着陆扩散系统主要应用于半导体器件POCls和BBrs扩散工序,工艺系统采用低压扩散的方式。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能,保证整个工业过程完全不受外表环境干扰,系统整机清洁,每管配备独立的尾气回收系统,降低了石英制品清洗的频次。

第四代软着陆扩散系统主要优势工艺运行稳定、均匀、可靠;设备温度控制系统、气体控制系统、取送片系统、管内压力稳定系统、报警及应急处理系统等功能齐全。
温度控制:全部采用进口稳定可靠的模块化仪表,能够实现整个工艺过程中的自动控温,系统无需测试恒温区,工艺过程可直接使用PROFIL控温。取送片系统:由我公司精心研制的软着陆装置,全数字控制,性能更加稳定,其特点平稳可靠、无爬行、SiC桨实现免清洗、定位准确、承重量大、使用寿命长。
管内压力控制系统:采用先进的压力控制系统,管内压强稳定。工艺废气冷却回收装置:把工艺废气集中收集从尾部定向排除,保证工艺管道清洁,芯片不被偏磷酸沾污,工艺质量完全可控。石英管与碳化硅桨免维护。
我公司可以根据客户要求对现有扩散炉进行改造升级,升级后设备性能得到极大的提升。

 

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