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PECVD等离子化学气相沉积系统

主要用于在晶体硅太阳能电池制造中在硅片上沉积AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。

关键词:半导体 光伏 工业炉

所属分类:

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产品描述

用途

主要用于在晶体硅太阳能电池制造中在硅片上沉积AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。

技术优势

工艺灵活多变,可实现多层复合膜。
独特的悬臂推拉舟,减少了进出舟时间,缩短工艺总时间,提升了设备的产能,提升设备稼动率。
超长恒温区,6点控温和炉内独特的加热器,加上智能串级温度控制系统对炉体温度进行独立精准控制,是炉温均匀性,稳定性的有力保证。
真空泵前端增加特制过滤器,减少真空泵卡死机率,提高真空泵使用寿命,提升设备稼动率。

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