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PECVD等离子化学气相沉积系统
主要用于在晶体硅太阳能电池制造中在硅片上沉积AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。
关键词：半导体 光伏 工业炉
所属分类：
产品描述
用途
主要用于在晶体硅太阳能电池制造中在硅片上沉积AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。
技术优势
工艺灵活多变，可实现多层复合膜。
独特的悬臂推拉舟，减少了进出舟时间，缩短工艺总时间，提升了设备的产能，提升设备稼动率。
超长恒温区，6点控温和炉内独特的加热器，加上智能串级温度控制系统对炉体温度进行独立精准控制，是炉温均匀性，稳定性的有力保证。
真空泵前端增加特制过滤器，减少真空泵卡死机率，提高真空泵使用寿命，提升设备稼动率。
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