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低压管式高温硼磷扩散系统/退火炉/氧化炉

松煜硼、磷扩散炉是最新型低压扩散炉,低压扩散是通过真空泵的作用,使反应腔体处于真空状态,然后通入工艺气体,扩散过程使腔室维持在稳定恒定的真空状态,从而保证腔室内硼或磷原子浓度不变。由于真空条件下气体分子自由程增加,气体分子在硅片表面的附着能力也有很大改善且避免了出现大量气体湍流,此时硼或磷原子可以均匀地分布在硅片表面,且在硅片表面扩散一层均匀的杂质原子,从而保证硅片扩散的均匀性。

关键词:半导体 光伏 工业炉

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产品介绍

松煜硼、磷扩散炉是最新型低压扩散炉,低压扩散是通过真空泵的作用,使反应腔体处于真空状态,然后通入工艺气体,扩散过程使腔室维持在稳定恒定的真空状态,从而保证腔室内硼或磷原子浓度不变。由于真空条件下气体分子自由程增加,气体分子在硅片表面的附着能力也有很大改善且避免了出现大量气体湍流,此时硼或磷原子可以均匀地分布在硅片表面,且在硅片表面扩散一层均匀的杂质原子,从而保证硅片扩散的均匀性。

扩散超长恒温区 点控温&推拉舟与石英舟配置

 

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