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微控扩散炉

扩散炉应用于分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对最片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2~8英寸工艺尺寸。

关键词:半导体 光伏 工业炉

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产品描述

扩散炉应用于分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对最片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2~8英寸工艺尺寸。

控制系统特点

可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步自动运行中可暂停/继续运行功能
PID参数自整定功能
系统故障自诊功能
停电后断电继续运行功能等等具有历史记录功能
具有多点温度补偿
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能可存储多组PID参数供系统运行调用功能工艺气体的程序控制功能
关键件全部具有高可靠性
具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面具有多种故障报警及各种安全互锁保护功能

★该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能
 

 

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